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  擴散泵油對擴散泵性能的影響至關重要。理想的擴散泵  敞泵油  油應飽和蒸氣壓低化熱低、工作穩(wěn)定、高溫下不分解、不吸收氣體、化學性能穩(wěn)定(與其接觸的材料  不起反應)、安全無毒,但是直至目前,還沒有研制出這種理想的工作液。水銀是的可用做泵液的單質介質,它具有化學性能穩(wěn)定、不分解、不溶解氣體、汽化  熱小、加熱功率低等優(yōu)點,大的缺點是蒸氣壓過高,室溫下(300K)的飽和蒸  氣壓高達.5×10-Pa,必須使用冷阱捕集才能用于高真空、超高真空。

采用液氮  冷阱,還要考慮水銀在冷阱上的冷凍問題,如果長期連續(xù)幾天運轉,就可能將鍋爐  中的水銀耗盡而停止工作。另外,水銀有劇毒,又能與某些金屬材料起反應,帶來  很大的安全防護問題,目前,除了一些研究機構在小型玻璃系統(tǒng)采用水銀擴散泵以  外,所有金屬油擴散泵全部采用石油分餾碳氫化合物和合成油作為泵的工作液。 

 現(xiàn)代擴散泵的工作液有石油分餾碳氫化合物、酯類、聚硅氧烷及醚類。石油分餾的碳氫化合物油屬于輕油類,制造成本低,價格低廉,但熱穩(wěn)定性、抗氧化性較差,蒸氣壓較高,僅適用于高真空泵。四苯基四甲基三硅氧烷(DC704)、五苯基甲基三硅氧烷(DC705)、混合五環(huán)聚苯醚( Santovac-5, Convalex-10)和全氟  聚醚( Fomblin Y vac)是目前應用多的超高真空擴散泵合成油。

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