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例如微波可以通過(guò)熱產(chǎn)生殺死微生物的作用；紫外線(xiàn)使DNA分子中相鄰的嘧啶形成嘧啶二聚體，抑制DNA復(fù)制與轉(zhuǎn)錄等功能，殺死微生物；X射線(xiàn)和γ射線(xiàn)能使其它物質(zhì)氧化或產(chǎn)生自由基（OH·H）再作用于生物分子，或者直接作用于生物分子，打斷氫鍵、使雙鍵氧化、破壞環(huán)狀結(jié)構(gòu)或使某些分子聚合等方式，破壞和改變生物大分子的結(jié)構(gòu)，從而抑制或殺死微生物。

即使可見(jiàn)光在長(zhǎng)時(shí)間照射后，也能損害微生物或殺死它們，因?yàn)樗泄夂仙锖腥~綠素（或細(xì)菌葉綠素）、細(xì)胞色素、黃素蛋白等光敏感色素，它吸收光能變成激發(fā)態(tài)或被活化，并將吸收的能量轉(zhuǎn)移到氧，產(chǎn)生氧自由基作用于細(xì)胞，導(dǎo)致機(jī)體突變或死亡。輻射滅菌的效果受其它因子制約，例如光可使嘧啶二聚體解體，降低紫外線(xiàn)作用效果，氧可提高X射線(xiàn)或γ射線(xiàn)作用效果等。

實(shí)行輻射滅菌的裝置包括微波爐、紫外光燈、陰極射線(xiàn)管、X射線(xiàn)發(fā)生器、放射性核素等。商業(yè)上用于大量物品滅菌使用的放射性源是鈷-60和銫-137，它們發(fā)射出γ射線(xiàn)，相對(duì)而言比較廉價(jià)。輻射滅菌用途很廣，例如醫(yī)療器械和用具（如注射器燈）、食品、實(shí)驗(yàn)室的許多塑料制品和多種培養(yǎng)基都是用這種方法滅菌。